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高流量超純氣體擴(kuò)散器_316L不銹鋼真空納米過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產(chǎn)地: 廣東深圳
  • 材質(zhì): 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產(chǎn)品詳情

    DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計? ?穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流,結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003um。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?。可定制化設(shè)計、靈活適應(yīng)各類安裝空間。

    產(chǎn)品特點

    ●不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)、可快速排氣

    ●整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

    ●減少工藝腔體排氣時的湍流

    ●適用于多種工藝氣體

    ●潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

    ●100%完整性測試通過

    ●100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

    ●防止微?;烊?、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計

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