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真空卡環不銹鋼過濾器_KF16 真空卡環


產品詳情

KF16 真空卡環尺寸適配性強,安裝便捷,能快速與過濾器及真空設備對接,縮短系統組裝時間。搭配過濾器使用時,可實現清潔、低湍流的回填過程,提升產品產量與設備吞吐量,規范操作下產品完整性達 3.000.000 次循環。?

產品特點?

●?減少排氣湍流:配合過濾器特殊結構,保障工藝腔體排氣穩定;?

●?適配多類氣體:兼容半導體及工業常用氣體,無需頻繁更換;?

●?潔凈全流程:卡環與過濾器同屬潔凈室制造、測試、包裝,確保潔凈度;?

●?100% 完整性檢測:出廠前嚴格測試,保證連接與過濾可靠性。?

應用上,廣泛適配小型半導體設備接口(如小型 CVD、Etch 設備)及小型真空室(裝載鎖、冷卻腔體)通風,適合短時間傳遞中少量氣體流的場景,滿足中小型真空系統高精度需求。

 

半導體-真空系統氣體過濾器_02 半導體-真空系統氣體過濾器_03 半導體-真空系統氣體過濾器_04 半導體-真空系統氣體過濾器_05


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