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DF系列400°C高溫超純氣體擴散器丨半導體真空腔體氣體過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    深圳恒歌DF系列高溫超純氣體擴散器,專為半導體高溫制程中的真空腔體放氣需求打造。這款產品憑借全316L不銹鋼的耐高溫特性與0.003μm的精密過濾能力,在400℃高溫環境下仍能保持穩定性能,既實現超純氣體的均勻擴散,又杜絕顆粒污染,成為氣相沉積、高溫蝕刻等嚴苛工藝的理想選擇。

    產品特點

    ●?高溫穩定運行:全 316L 不銹鋼結構,可耐受 400℃高溫,適配各類高溫工藝場景。

    ●?超純氣體保障:過濾精度達 0.003μm,配合潔凈室生產流程,確保氣體純度。

    ●?防湍流擴散設計:融合擴散器氣流特性,引導氣體平穩流動,避免腔體污染。

    ●?全材質防腐:耐酸堿與腐蝕性工藝氣體,延長設備使用壽命。

    ●?定制化適配:可根據腔體尺寸與安裝空間個性化設計,提升適配性。

     

    擴散器過濾器技術參數
    濾芯材質?? ? 316L不銹鋼粉末燒結 殼體材質 ? 316L不銹鋼
    表面處理??? 內表面? Ra ≥32μm 過濾精度μm ?≥0.003 可按需定制
    最大進氣壓力? 4bar 最大工作壓差?? 5bar
    最高使用溫度? ?400°C 下游潔凈度 <0.03particles/liter
    @>0.01ym rated flow

    ?

    應用場景

    應用于半導體高溫工藝的真空腔體系統:在 CVD 化學氣相沉積設備中,保障高溫下工藝氣體的超純與均勻擴散,提升薄膜質量;在高溫退火爐的真空排氣環節,防止顆粒污染晶圓表面;在離子注入后的真空釋壓過程中,維持腔室潔凈環境。同時適用于光伏行業的高溫鍍膜設備及半導體封裝的高溫固化腔體,為各類高溫真空工藝提供可靠的氣體擴散與過濾保障。

     

     

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