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供應半導體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    在半導體制造中,大宗氣體作為關鍵生產原料,其純度直接關系到晶圓制程的穩定性與產品合格率。深圳恒歌專注半導體領域需求,推出供應半導體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用設計,以全金屬結構的可靠性與高效過濾性能,成為大宗氣體終端處理的核心設備。?

    這款全金屬氣體過濾器采用不銹鋼粉末燒結介質,不僅實現了快速排氣功能,滿足真空腔體快速放氣的生產節奏,更具備高達 0.003um 的過濾精度。在半導體大宗氣體傳輸與終端使用環節,即使微量的顆粒雜質也可能附著在晶圓表面,導致電路缺陷或工藝失敗。而該過濾器能精準攔截氣體中的微小顆粒,有效防止微粒混入工藝腔體,從源頭保障大宗氣體的超純品質,直接助力企業提高產品合格率。?

    產品采用整體 316L 不銹鋼打造的全金屬結構,區別于傳統非金屬過濾器,具備更優異的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能,能輕松應對半導體制造中各類工藝氣體(如惰性氣體、反應性氣體等)的嚴苛工況,長期使用不易變形或損壞,大幅延長設備使用壽命。同時,獨特的結構設計還能有效減少工藝腔體排氣時的湍流產生 —— 湍流不僅會破壞腔體內部的穩定環境,還可能吹起殘留顆粒或擾動硅片,影響制程精度,而該過濾器的平穩氣流設計則徹底規避了這一風險。?

    為確保產品品質與潔凈度,該過濾器全程在潔凈室環境內完成制造、測試與包裝,每一臺設備均通過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測,杜絕任何潛在的泄漏隱患與品質問題。針對不同半導體工廠的安裝空間與工藝需求,恒歌還提供定制化設計服務,讓設備能靈活適配各類終端布局,進一步提升使用便捷性與兼容性。?

    產品特點:?

    1、全金屬 316L 不銹鋼結構:耐極端工況,耐用性更強?

    2、0.003um 高精度過濾:攔截微小顆粒,保障氣體超純?

    3、快速排氣設計:適配真空腔體放氣需求,提升效率?

    4、抑制湍流產生:維持氣流平穩,保護工藝環境?

    5、雙重嚴格檢測:100% 完整性 + 氨氣泄露檢測,品質可靠?

    作為半導體大宗氣體終端的關鍵過濾設備,深圳恒歌這款全金屬氣體過濾器,以 “高潔凈、高穩定、高適配” 的核心優勢,為晶圓制程工藝提供持續可靠的氣體保障,助力半導體企業實現更高效、更優質的生產。

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