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微電子半導體晶圓制程工藝氣體過濾終端 316L 外殼快速進氣擴散器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    在微電子半導體晶圓制程中,工藝氣體的純凈度與進氣效率直接影響晶圓的良率與性能。深圳恒歌推出的微電子半導體晶圓制程工藝氣體過濾終端 316L 外殼快速進氣擴散器,專為半導體制程真空腔體快速放氣應用設計,憑借精準的過濾性能與高效的進氣設計,成為晶圓制造環節的關鍵支撐設備。?

    這款過濾終端最核心的優勢在于其卓越的過濾精度,可達 0.003um,能高效攔截工藝氣體中的微小顆粒。在晶圓光刻、刻蝕等精密工藝中,即使是納米級的雜質也可能導致電路缺陷,而該設備通過不銹鋼粉末燒結介質,可深度凈化工藝氣體,防止微粒混入腔體,從源頭幫助企業提高產品合格率。同時,其 316L 不銹鋼外殼不僅具備出色的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕特性,能適應半導體制造中的嚴苛環境,還通過優化結構設計,巧妙規避了氣體流動時的湍流產生。湍流會破壞真空腔體的穩定環境,可能吹起腔體內殘留顆粒或擾動硅片,影響工藝精度,而該設備平穩的氣流設計則徹底解決了這一隱患。?

    作為快速進氣擴散器,其在保障過濾效果的同時,還能實現高效排氣,滿足真空腔體快速放氣的生產需求,助力提升制程效率。此外,產品全程在潔凈室環境內完成制造、測試與包裝,每一臺都經過 100% 完整性測試和 100% 氨氣泄露檢測,確保出廠品質可靠。針對不同晶圓廠的設備布局差異,恒歌還提供定制化設計服務,讓設備能靈活適配各類安裝空間,進一步提升使用便捷性。?

    產品特點:?

    1、0.003um 高精度過濾:深度攔截微粒,保障氣體超純。?

    2、316L 不銹鋼外殼:耐極端工況,延長設備壽命。?

    3、快速進氣設計:滿足真空腔體快速放氣,提升制程效率。?

    4、抑制湍流產生:維持氣流平穩,保護工藝環境。?

    5、雙重嚴格檢測:100% 完整性與氨氣泄露檢測,質量可控。?

    微電子半導體晶圓制程工藝氣體過濾終端 316L 外殼快速進氣擴散器,以 “高效過濾 + 穩定氣流 + 靈活適配” 的核心優勢,為半導體晶圓制造提供可靠保障,是企業提升工藝水平的理想選擇。

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