高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試
多孔金屬限流器、通過與不同規格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中、用于保護氣體流量穩定可靠、減少氣體流動負擔、避免氣體過載引發不良后果。結構堅因、更換便捷。
產品特點：
1、結構緊湊、節省空間
2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量
3、流量控制可靠持久
4、可用于高流量、高溫度與高壓力環境、減少氣體流動負擔、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結構、無結構彎曲或顆粒脫落
5、使用壽命長
6、100%氨氣泄露檢測通過
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 |
| 流量范圍 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作壓差 | 1500psig |
| 精度 | +7.5% Base | 可重復性 | 士0.1% |
| 最高使用溫度 | 460℃ | 氦氣泄漏率 | 1×10-9cc/min |
| 密封面尺寸 | 1/4″‘VCR | ? | ? |
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