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316L氣體大流量過濾器_高溫超純氣體過濾器_電解半導體過濾器

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產地: 廣東深圳
  • 材質: 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產品詳情

    ?BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構造、是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。

    產品特點

    ? 整體316L不銹鋼結構

    ? 高通量、低阻力

    ? 超高顆粒攔截率

    ? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

    ? 適用于多種工藝氣體

    ? 適用于潔凈室環境內制造、測試、包裝

    ? 100%完整性測試

    ? 100%氨氣檢漏測試

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    產品參數

    濾芯材質 316L不銹鋼粉末燒結 殼體材質 316L不銹鋼
    最大進氣壓力 207bar 最大工作壓差 5.2bar
    氦氣驗證泄漏率 2×10-10cc/min 氦氣測試泄露率 1×10-10cc/min
    表面處理 外表面 Ra < 1.6μm 最高使用溫度 惰性氣體 400-500*C
    內表面 Ra < 0.2μm 腐蝕性氣體,反應氣體 50C
    顆粒攔截效率 ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm 下游潔凈度 ≥0.03particles/liter
    @>0.01um,30slpm
    顆粒攔截粒徑 ≧0.003μm

    1.4.png

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